525系列-表面粗糙度和輪廓測量儀特點：

表面粗糙度測量功能：
高分辨力型Z1軸檢出器作為標準件提供。Z1軸的Z高顯示分辨力為0.0001μm（測量范圍為8μm時）。
X軸內置高精度玻璃光柵尺，直接讀取X軸移動距離，在搞精度精準定位下，完成間距參數的評價。
檢出器測力有4mN和0.75mN可選。
輪廓測量功能：
Z1軸（檢出器）上配有高精度弧形光柵尺和新型測臂。高精度弧形光柵尺能直接讀取測針

貨號

CV-3200S4

CV-3200H4

CV-3200W4

CV-3200S8

CV-3200H8

CV-3200W8

CV-4500S4

CV-4500H4

CV-4500W4

CV-4500S8

CV-4500H8

CV-4500W8

★量表面粗糙度時

測量范圍

X軸（驅動部

100MM

200MM

Z1軸（檢出器）

800μm/80μm/8μm

直線度

（0.05+L/1000）μm  L:驅動長度（mm）

0.5μm/200mm

分辨力

Z1軸（檢出器

0.01μm（800μm），0.001μm（80μm），0.0001μm（8μm

測力

0.75mN(機身代碼末尾帶“-1”的型號)

4N(機身代碼末尾帶“-2的型號)

測針針尖形狀

60°，2μmR(機身代碼末尾帶“-1”的型號)

90°，5μmR(機身代碼末尾帶“-1”的型號)

對應尺寸

JIS1982/JIS1994/ JIS2001/ ISO1997/ANSI/VDA

評價參數

Pa,Pq.Psk,Pku,Pp,Pv,Pz,Pt,Pc,PSm,P△q,Pmr(C),Pmr,P&c,Ra,Rc,RSm,R△q,Rmr(C),Rmr,R&c, Wa,Wq.Wsk,Wku,Wp,Wv,Wz,Wt,Wc,WSm,W△q,Wmr(C),Wmr,W&c Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rx,AR,R,，AW,W,Wte,Ry,RyDIN.RzDIN,R3y,R3z,S,HSC,Lo,lr,,△a,λa,λq,Vo,Htp,NR,NCRX,CPM,SR,SAR,NW,SW,SAW

輪廓分析

原始輪廓，粗糙度輪廓，濾波波紋輪廓，波紋輪廓，滾動圓波形原始輪廓，滾動圓波形輪廓，包絡殘余線，DF輪廓（DIN4776/ISO13565-1）、表面粗糙度MOTIF（包絡波紋輪廓在評價MOTIF時顯示）

分析圖表

負荷曲線,振幅分布曲線，功率譜，自相關，Walsh功率譜，Walsh自相關，分布，傾斜角分布，參數分布（磨損量、重疊在輪廓分析可以用于面積等的原始分析）

曲線補充

zui小平方直線、R面補償、橢圓補償、拋物線補償，雙曲線補償，二次曲線補償，多頂式補償（自動或任意2-7次），無補償

濾波器

高斯濾波器，2CRPC75，2CRPC50，2CR75，2CR50，魯棒樣條濾波器

輪廓測量

測量范圍

X軸（驅動部）

100MM

200MM

Z1軸（檢出器）

60mm(水平位置±30mm)

直線度

0.8μm/100mm

2μm/200mm

精度

X軸（驅動部）

±（0.8+0.01L）μm   L=驅動長度（mm）

±（0.8+0.02L）μm   L=驅動長度（mm）

Z1軸（檢出器）

SV-C3200系列：±（1.6+（2H）/100）μm   SV-C4500系列：±（0.8+（2H）/100）μm

H=水平位置上的測量高度（mm）

分辨力

X軸（驅動部）

0.05μm

Z1軸（檢出器）

SV-C3200系列：0.04μm   SV-C4500系列：0.02μm

Z2軸（立柱）

1μm

測力

SV-C3200系列：30mN（可調使用重量）  

SV-C4500系列：10,20,30,40,50mN (根據軟件轉換)

測頭方向

SV-C3200系列：垂直方向（向上/向下單獨測量）

SV-C4500系列：垂直方向（向上/向下根據配重調整）

☆通用時

Z2軸（立柱）移動量

300mm

500mm

300mm

50mm

X軸傾斜角度

±45°

驅動速度

X軸

0-80mm/s外加手動

Z2軸（立柱）

0-30mm/s外加手動

測量速度

0.02-5mm/s